方阻測(cè)試儀是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、 ITO 導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。
FT-340系列方阻測(cè)試儀采用四探針雙電測(cè)量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能。
影響探頭法測(cè)試方阻精度的因素有：
（1）要求探頭邊緣到材料邊緣的距離大大于探針間距，一般要求10倍以上。
（2）要求探針頭之間的距離相等，否則就要產(chǎn)生等比例測(cè)試誤差。
（3）理論上講探針頭與導(dǎo)電薄膜接觸的點(diǎn)越小越好。但實(shí)際應(yīng)用時(shí)，因針狀電極容易破壞被測(cè)試的導(dǎo)電薄膜材料，所以一般采用圓形探針頭。
